超快精密加工子系統(tǒng)采用超短脈沖光源，All-in-one 結(jié)構(gòu)設(shè)計，智能化軟件控制，基于振 鏡加工模式實現(xiàn)高精度多材料加工的一款工具。子系統(tǒng)配備了高精度視覺系統(tǒng)和聯(lián)動控制軟件， 可進行視覺定位和大幅面加工；光路中增加偏振優(yōu)化，消除激光材料作用中存在的各向異性， 提高加工品質(zhì)。光路模塊設(shè)計提高光路穩(wěn)定性和使用壽命。

產(chǎn)品特點

▲高精度視覺監(jiān)測和定位 

▲高精度無限幅面拼接 

▲偏振優(yōu)化 

▲振鏡自動校正 

▲支持多軸擴展 

▲支持固定、飛行光路方案

應用領(lǐng)域

▲金屬材料高精度切割、鉆孔 

▲薄膜及復合材料加工 

▲軟陶瓷加工 

▲金剛石材料加工 

▲碳化硅晶圓標記

產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品尺寸