超短脈沖(USP)激光器因自聚焦技術(shù)提供的精度及可靠性,使玻璃焊接技術(shù)市場(chǎng)化成為可能。玻璃因其透光性,平整性等優(yōu)異特性廣泛應(yīng)用于生物醫(yī)學(xué),光學(xué),微電子領(lǐng)域。但玻璃材料鍵合方面的苦難,導(dǎo)致玻璃與玻璃或與其他金屬半導(dǎo)體材料在焊接上困難重重。
傳統(tǒng)玻璃焊接方式:
使用粘合劑鍵合成本低,但在/精度/焊接質(zhì)量/效率方面無法達(dá)到應(yīng)用需求,甚至殘留膠材,后續(xù)需要脫氣;
介質(zhì)焊接是將粉末材料放在接觸點(diǎn)處,然后將其熔化以完成鍵合。無論這種熔化是通過烘箱還是激光實(shí)現(xiàn),都會(huì)有大量熱量被泵入零件中。這對(duì)于微電子設(shè)備和許多醫(yī)療器械都是一個(gè)問題;
離子鍵合是一種巧妙的方法,可提供極高的鍵合強(qiáng)度。兩片嶄新且極其平坦的玻璃表面被壓在一起,并通過分子鍵真正融合在一起。但是,要在生產(chǎn)環(huán)境中執(zhí)行此操作并不現(xiàn)實(shí);
那么,激光焊接呢?玻璃有許多非常有用的特性,比如極高的熔點(diǎn)、透明性、脆性和機(jī)械剛性,但同時(shí)也給激光焊接帶來了很多困難。因此,用于焊接金屬和其他材料的典型工業(yè)激光器和方法并不適用于玻璃。
就像精密玻璃切割一樣,其秘訣在于使用紅外波長(zhǎng)超短脈沖(USP)激光器。玻璃在紅外線中是透明的,因此聚焦的激光束可以直接穿過它,直到聚焦光束變窄并變得集中以致觸發(fā)“非線性吸收”。這種“非線性吸收”只會(huì)發(fā)生在具備高峰值功率的超短脈沖激光中,而無法使用其他類型的激光來完成同樣的事情。
所以,在激光束焦點(diǎn)周圍非常小的區(qū)域(通常直徑小于幾十微米)內(nèi),玻璃吸收激光并迅速熔化。該聚焦光束沿著所需的焊接路徑進(jìn)行掃描,以完成鍵合,就像其他形式的激光焊接一樣。
USP超短脈沖激光玻璃焊接方法具有三個(gè)主要優(yōu)勢(shì)。
首先,它會(huì)產(chǎn)生一種牢固的鍵合,因?yàn)楸缓附拥膬煞N材料都部分熔化,然后再凝固在一起形成焊縫。而且,該工藝同樣適用于將玻璃與玻璃、玻璃與金屬以及玻璃與半導(dǎo)體粘結(jié)起來。
其次,在該工藝中,僅有極少的熱量進(jìn)入部件中,最多在幾百微米寬的區(qū)域內(nèi)產(chǎn)生這種熱量。這允許將焊縫放置在非常靠近電子電路或其他熱敏組件的位置,這為設(shè)計(jì)人員和制造商提供了更大的自由度,并支持更出色的產(chǎn)品小型化設(shè)計(jì)。
最后,如果 USP超短脈沖激光玻璃焊接實(shí)施得當(dāng),則不會(huì)在焊縫周圍產(chǎn)生微裂紋。微裂紋會(huì)降低玻璃的機(jī)械強(qiáng)度。此外,經(jīng)過溫度周期變化(這對(duì)所有事情來說都是不可避免的)后,微裂紋可能會(huì)成為設(shè)備最終故障的根源。
USP超短脈沖激光玻璃焊接的優(yōu)勢(shì)源于玻璃僅在很小的體積內(nèi)被加熱。但這也給實(shí)際操作帶來了挑戰(zhàn)。這意味著,即使部件移動(dòng),激光對(duì)焦位置也必須非常精確地保持在兩個(gè)焊接組件之間的接口處。因?yàn)楝F(xiàn)實(shí)世界的部件并不是完全平坦的,所以這很難實(shí)現(xiàn)。此外,在焊接系統(tǒng)中部件放置的位置可能并不完全契合。
一種解決方案是使用軸向拉長(zhǎng)的焦點(diǎn)。這會(huì)“延展”激光束焦點(diǎn)的尺寸以解決位置敏感性問題。但是,這種方法的缺點(diǎn)在于,拉長(zhǎng)的光束焦點(diǎn)會(huì)在玻璃中產(chǎn)生一個(gè)具有非圓形橫截面的熔池。當(dāng)玻璃在熔化區(qū)凝固時(shí),非圓形熔池更容易形成微裂紋。
采用另一種方法實(shí)現(xiàn)無微裂紋的焊接效果,并能同時(shí)適應(yīng)工藝中接口距離的重大變化。其秘訣在于,結(jié)合高動(dòng)態(tài)聚焦技術(shù),利用高數(shù)值孔徑(NA)光學(xué)器件產(chǎn)生小的焦點(diǎn)光斑。
激光系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了高球面度的熔池,從而避免了微裂紋。它還會(huì)感應(yīng)接口距離并不斷調(diào)整光學(xué)器件,從而始終保持完美聚焦。其結(jié)果是,幾乎在任何形狀的部件上都能保證高質(zhì)量焊接,并且該工藝不受部件公差和位置的影響。
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