飛秒激光玻璃雕刻案例
玻璃,石英,藍(lán)寶石等透明材料的加工是全世界工業(yè)的高度關(guān)注的主題,因?yàn)檫@些材料廣泛應(yīng)用于消費(fèi)電子,平板顯示器制造等光電子市場(chǎng)。飛秒激光雕刻作為激光表面處理的方式之一,是一種無(wú)接觸、無(wú)污染的的加工技術(shù),具有高效率、低殘余應(yīng)力、加工質(zhì)量好,無(wú)需后處理等優(yōu)勢(shì)。
相比于傳統(tǒng)的加工方式,對(duì)于玻璃材料加工,飛秒激光燒蝕區(qū)域材料直接汽化,幾乎沒(méi)有熱積累,因而雕刻區(qū)域不易出現(xiàn)崩邊和裂紋,且具有極高的加工精度,可以滿足精細(xì)雕刻的需求。
案例分享:
石英玻璃-飛秒激光玻璃雕刻
加工需求:直徑0.4 mm 圓陣列,線寬10 μm,深度2 μm。
工藝效果:
直徑為0.4 mm的圓陣列可以穩(wěn)定的標(biāo)記在玻璃表面,線寬和深度可分別控制在10 μm和2 μm左右,標(biāo)記處無(wú)崩邊,也無(wú)裂紋形成。
與傳統(tǒng)加工效果對(duì)比:
相比于傳統(tǒng)的雕刻方式,飛秒激光可以應(yīng)用在更小的空間尺度上,雕刻深度及線寬均
可進(jìn)行精細(xì)調(diào)節(jié),同時(shí),超短的脈沖作用時(shí)間幾乎不導(dǎo)致額外的材料損傷。